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PINUS1-B

关头字导读: PECVD PVD ETCH MEMS

描写:直驱机电规划,全新的IO模块,具备进步前辈的防碰撞掩护功效及输出旌旗灯号支硬件间断功效,具备SEMI认证。知足特征化设想撑持用户定制,手臂长度可选,可为客户供给接口及结尾定制办事。

简介

Introduction

直驱机电规划具备更高的真空特征,外部规划不齿轮,皮带等部件,体系运转的安稳性更好,靠得住性更高。全新的IO模块,具备更多的输出输出引脚,用户能够按照需要设置设备摆设成互锁,传感器检测等功效。输出旌旗灯号支硬件间断功效,便利客户设置设备摆设AWC等位置锁存功效利用。带有宁静区设置设备摆设功效和活络的碰撞掩护功效,减罕用户误操纵致使的各类丧失。带有大屏幕机械人示教器,便利调试职员利用,并撑持热插拔功效。能够按照客户利用的特别请求,定制手臂尺寸,Z轴路程,耐低温耐侵蚀特征等。


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参数

Parameter


本体分量Body Weight50KG
合用晶圆尺寸Wafer Size300mm/200mm/150mm/125mm/100mm
负载Payload1KG
电源输出Power SupplyAC电压:100-240V    AC频次:50HZ/60HZ
节奏Bear4s-8.1s(Pick,Rotate180°,Place,按照手指资料,传输位置差别相干)
静态误差改正精度(AWC)±0.1mm
反复定位精度RepeatabilityZ: ±0.05mm(3σ)
T: ±0.003°(3σ)
R: ±0.05mm(3σ)
漏率Leak rate<  1 x 10E-9 std. cc/sec He
真空度Base Pressure5X10-9Torr

合用温度 Applicable  temperature

法兰:<120℃;本体:<50℃;手臂:<120℃

干净度Clean Class

ISO  CLASS1

MCBF

>1100million cycles

复合活动 Compound  motion

撑持Support
PC长途操纵软件撑持Support
通讯接口Communications

Ethernet/串口serial interface

IO互锁IO interlock

撑持Support

宁静区Safe area

撑持Support

碰撞掩护Collision  protection

撑持Support