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400 800 8666
SRBZ1440A

关头字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

描写:接纳磁流体密封手艺,收集化节制体系,具备进步前辈的防碰撞掩护功效及静态纠偏功效,具备SEMI认证,MCBF大于1000万次,同时具备超高干净度,耐低温、耐侵蚀,负载才能强等特色。知足特性化设想撑持用户定制,负载、手臂长度可选,可为客户供给接口及结尾定制办事。是大负载真空机械手的优胜之选。

简介

Introduction

大负载真空机械手, LED芯片制作范畴的真空机械手产物,首要用于LED芯片制作进程中,完成装有大批LED晶圆的托盘在各个工艺腔室间的传递,具备真空度高,负载大,传输效力高,耐低温等特色,大大进步了LED芯片出产制作的良率和效力,是LED芯片制作设备的关头产物。传统的LED芯片制作接纳集成电路制作制程利用的真空机械手,其负载才能只要1kg。本产物在集成电路制作用真空机械手的根本上,针对其大负载需要,立异了其传输规划和节制纪律,使其可以或许到达20.5kg的负载才能,同时坚持很小的占用体积,坚持高耐真空度及干净品级。


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参数

Parameter


规划情势Mechanical Structure柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
驱动体例Driving method伺服机电Servo Motor
手数目Number of Arm单臂Single Arm
负载Payload称号name托盘Tray
直径diameterΦ710mm
分量weight≤10.5kg
自在度数DOF3
手臂长度Arm Length355mm

手指长度(装置中间至硅片中间)

Finger  length(distance from install center to wafer center)
765mm

活动规模

Moving  Range
Z轴Z-axis

150mm

R轴,机械手扭转中间至工艺腔中间 R-axis, robot center to process chamber center极限(Ultimate)1440mm
θ轴θ-axis无穷反转展转Infinite Rotation

全路程最小时候

Minimum running time
Z轴Z-axis1s/35mm
R轴R-axis5s/伸出或缩回Extend or Retraction
θ轴θ-axis5s/180°

反复定位精度

Repeatability
θ轴(°)θ-Axis±0.01(3σ)
R轴(mm)R-Axis±0.1(3σ)

机械手带φ710mm负载后最小反转展转直径

Robot  minimum turning diameter with Φ 710 mm load
1530mm

伸出1440mm负载直径710mm最前端下垂量

The  front sag of robot which out of 1440mm with Φ 710 mm load
5.5mm
反复定位精度Repeatability±0.2mm
耐真空度Base Pressure (Pa)10­-6Pa
分量Weight机械抄本体Main-body100kg
节制器Controller15kg
碰撞掩护Collision Protect Function

盘片和机械手无毁伤/工位需从头校准
             Disc  and robot without damage/need  to recalibrate position