澳门皇冠赌场网址导航

400 800 8666
SRBZ820C-SMSX

关头字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

描写:磁流体密封、收集化节制器、MCBF大于1000万次,SEMI认证S2,F47,逢迎特性化设想具备手臂长度、自在度可选,手指及接口用户可定制的特色,耐侵蚀,静态纠偏和碰撞掩护功效。

简介

Introduction

接纳前进前辈的磁流体密封手艺,具备乐音小、振动小、运转安稳、精度高档特色。具备更活络的碰撞掩护功效,有用掩护机械手和客户晶圆。全新的轨迹计划,前进活动节奏,前进了用户产能。宁静区掩护等功效有用地前进了产物的宁静品级。在半导体前道高端设备中普遍利用,对设备靠得住性请求高。矫捷的本地化、可定制化办事,疾速呼应的售后办事,和矮壮的手艺气力,是咱们的首要合作力。鞭策了国际半导体财产链的前进,有用的支持了国际设备商的生长。


参数

Parameter

参数:

型号

SRBZ820C-SMSX

密封体例

磁流体密封

自在度数

2

负载

称号

托盘

直径

Φ330mm

分量

1.5kg

最大活动规模

R轴(mm

立柱中间至R轴最大舒展处被搬运物体中间间隔820

θ轴(°)

360

全路程最小时候

R轴(s

2.5

θ轴(s

4.8

反复定位精度

θ轴(°)

±0.013σ)

R轴(mm

±0.13σ)

分量

机械抄本体

41kg

节制器

15kg

耐真空度(Pa)

5×10-9 Torr

漏率

1×10-9 std.cc/sec He

碰撞掩护

盘片和机械手无毁伤

路程

820mm

电源规模   电压动摇规模

单订交换208V     +10%-15%